ZX900 AOI视觉检测设备
• 一款多角度自动AOI系统检测设备。适用于:半导体先进封装工艺的产品视觉检测设备。
• 检测能力:残胶、RDL短/断路、Bump变形受损;PI变色、各类金属残留、渗镀、来料异常、晶圆
表面划伤外来物识别等。
• 表面检测图形晶圆表面检测(AOI) ;检测亚微米量级的二维图形缺陷。
• 支持晶圆尺寸:兼容200mm/300mm(支持±2.5mm翘曲片)
• 分辨率0.45um – 9um。
查看:6401
时间:2015-12-14
设备型号:ZX900
适用芯片:CIS、WLCSP、TSV...
ZX900 AOI视觉检测设备
• 一款多角度自动AOI系统检测设备。适用于:半导体先进封装工艺的产品视觉检测设备。
• 检测能力:残胶、RDL短/断路、Bump变形受损;PI变色、各类金属残留、渗镀、来料异常、晶圆
表面划伤外来物识别等。
• 表面检测图形晶圆表面检测(AOI) ;检测亚微米量级的二维图形缺陷。
• 支持晶圆尺寸:兼容200mm/300mm(支持±2.5mm翘曲片)
• 分辨率0.45um – 9um。
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